Greenhouse Mushroom-luchtbevochtiger

Greenhouse Mushroom-luchtbevochtiger

Clean room-regeling voor vochtigheidsregeling

Het belang van vochtigheidsregeling en relatieve vochtigheid in de cleanroom: vochtigheidsregeling is een belangrijke voorwaarde voor de productie van cleanrooms. Relatieve vochtigheid is een veel voorkomende omgevingsbedieningsconditie bij de werking van cleanrooms en cleanrooms.

Typische streefwaarden voor de relatieve vochtigheid in halfgeleider cleanrooms en cleanrooms worden binnen het bereik van ongeveer 30 tot 50% geregeld, waardoor toleranties mogelijk zijn binnen een nauw bereik van ± 1%, zoals lithografie of in extreme ultraviolette verwerking (DUV). Het gebied is zelfs kleiner en kan worden ontspannen tot binnen ± 5% van de rest.

In de afgelopen jaren is het proces van het behandelen van lucht in deze voorgeschreven bereiken gehandhaafd. Relatieve vochtigheid heeft een aantal factoren die kunnen bijdragen aan de algehele prestaties van de cleanroom, waaronder:

1, bacteriegroei; 2, het personeel voelt zich comfortabel kamertemperatuur bereik; 3, statische lading; 4, corrosie van metaal; 5, waterdampcondensatie; 6, degradatie van lithografie; 7, wateropname.

Bacteriën en andere biologisch verontreinigde schimmels, virussen, schimmels en bladluizen kunnen zich actief vermenigvuldigen in omgevingen met een relatieve vochtigheid van meer dan 60%. Sommige flora kan groeien als de relatieve vochtigheid meer dan 30% is. Wanneer de relatieve vochtigheid tussen 40% en 60% ligt, kunnen de effecten van bacteriën en infecties van de luchtwegen worden geminimaliseerd. Relatieve vochtigheid in het bereik van 40% tot 60% is ook een bescheiden bereik waarin mensen zich prettig voelen. Overmatige luchtvochtigheid kan mensen depressief doen voelen, terwijl een luchtvochtigheid van minder dan 30% mensen zich droog kan voelen, huidscheuren, ademhalingsproblemen en emotioneel ongemak.

Hoge luchtvochtigheid vermindert in feite de opbouw van statische lading in de cleanroom en schone oppervlakken van de ruimte - een resultaat dat iedereen hoopt. Lagere luchtvochtigheid is meer geschikt voor ladingsaccumulatie en een potentieel schadelijke bron van elektrostatische ontlading. Wanneer de relatieve vochtigheid 50% overschrijdt, begint de statische lading snel te dissiperen, maar wanneer de relatieve vochtigheid minder is dan 30%, kunnen ze lang aanhouden op de isolator of het ongeaarde oppervlak.

Relatieve vochtigheid tussen 35% en 40% kan een bevredigend compromis zijn. Semiconductor stofvrije werkplaatsen en cleanrooms gebruiken over het algemeen extra controles om de ophoping van statische lading te beperken. De snelheid van veel chemische reacties, inclusief het corrosieproces, neemt toe naarmate de relatieve vochtigheid toeneemt. Alle oppervlakken die zijn blootgesteld aan de schone ruimte en de lucht rondom de schone ruimte worden snel bedekt met ten minste één monolaag water. Wanneer deze oppervlakken zijn samengesteld uit een dunne metalen coating die kan reageren met water, kan een hoge luchtvochtigheid de reactie versnellen. Gelukkig kunnen sommige metalen, zoals aluminium, een beschermend oxide vormen met water en verdere oxidatiereacties voorkomen. In een ander geval, bijvoorbeeld koperoxide, is het niet beschermend, dus het is hoog. In een vochtige omgeving is het koperoppervlak gevoeliger voor corrosie.

Het is te zien dat de stofvrije werkplaats strenge of zelfs strikte eisen aan de luchtvochtigheid stelt en de luchtontvochtiger lost dit probleem goed op bij het regelen van de luchtvochtigheid. De luchtontvochtiger kan de strenge eisen van temperatuur en vochtigheid in de stofvrije werkplaats fundamenteel oplossen.

Populaire tags: kas paddestoel luchtbevochtiger China, fabrikanten, leveranciers, fabriek, groothandel